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华海清科“一种化学机械抛光系统及抛光方法”专利获授权

星夢妙者

星夢妙者

发布时间:2024-11-18 08:12:13

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来源于laoyaoba

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天眼查显示,华海清科股份有限公司近日取得一项名为“一种化学机械抛光系统及抛光方法”的专利,授权公告号为cn115194640b,授权公告日为2024年10月18日,申请日为2022年8月15日。

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华海清科“一种化学机械抛光系统及抛光方法”专利获授权

本发明公开了一种化学机械抛光系统及其抛光方法,该系统包括:

  1. 前置单元
  2. 抛光单元
  3. 清洗单元,位于前置单元和抛光单元之间

清洗单元包括:

SCNet智能助手
SCNet智能助手

SCNet超算互联网平台AI智能助手

下载
  • 第一清洗单元
  • 第二清洗单元,垂直层叠设置在第一清洗单元上方

第一和第二清洗单元均包括:

  • 晶圆传输机械手
  • 多个晶圆后处理装置,围绕晶圆传输机械手布置

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