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华海清科“一种化学机械抛光系统及抛光方法”专利获授权

星夢妙者
发布： 2024-11-18 08:12:13
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天眼查显示，华海清科股份有限公司近日取得一项名为“一种化学机械抛光系统及抛光方法”的专利，授权公告号为cn115194640b，授权公告日为2024年10月18日，申请日为2022年8月15日。

华海清科“一种化学机械抛光系统及抛光方法”专利获授权

本发明公开了一种化学机械抛光系统及其抛光方法，该系统包括：

  1. 前置单元
  2. 抛光单元
  3. 清洗单元，位于前置单元和抛光单元之间

清洗单元包括：

  • 第一清洗单元
  • 第二清洗单元，垂直层叠设置在第一清洗单元上方

第一和第二清洗单元均包括：

  • 晶圆传输机械手
  • 多个晶圆后处理装置，围绕晶圆传输机械手布置

以上就是华海清科“一种化学机械抛光系统及抛光方法”专利获授权的详细内容，更多请关注php中文网其它相关文章！

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来源：laoyaoba网
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