【专利】北方华创“一种腔室清洁方法及半导体工艺设备”专利公布；基本半导体“碳化硅基集成SBD和SGT器件及其制备方法”专利公布；一微半导体“一种n倍脉宽扩展电路及脉宽扩展的锁相环系统”专利获授权-人工智能-PHP中文网

【专利】北方华创“一种腔室清洁方法及半导体工艺设备”专利公布；基本半导体“碳化硅基集成SBD和SGT器件及其制备方法”专利公布；一微半导体“一种n倍脉宽扩展电路及脉宽扩展的锁相环系统”专利获授权

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发布： 2025-01-06 14:41:31

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近期半导体行业专利动态：北方华创、基本半导体、一微半导体等企业纷纷斩获专利成果。

1. 北方华创：高效腔室清洁技术专利公布

北京北方华创微电子装备有限公司近日公布一项名为“一种腔室清洁方法及半导体工艺设备”的专利（申请公布号：CN119050039A，申请公布日：2024年11月29日）。该专利提出了一种创新的腔室清洁方法，能够自动移出挡板并执行电荷清洁，显著提高清洁效率并降低人力成本。通过巧妙的设计，该方法有效避免了挡板对清洁效果的影响，确保了静电卡盘残余电荷的彻底清除。