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优睿谱半导体设备有限公司（以下简称“优睿谱”）近日宣布完成新一轮融资，由合肥产投资本独家投资。此轮融资将进一步推动优睿谱在半导体前道量测设备领域的领先地位。
优睿谱成立于2021年，总部位于上海，并在浦东和无锡设有研发中心。公司创始人余先育拥有丰富的半导体行业经验，曾在美国应用材料和睿励科学仪器任职。其15年的行业积淀为优睿谱的快速发展奠定了坚实基础。
优睿谱的核心产品FTIR设备Eos200Lite已获得多家头部碳化硅基外延厂的订单，用于测量外延片厚度和均匀性。此外，Eos200/200+、Eos300/300+等产品也获得了大量订单。
公司此前已完成多轮融资：2022年8月完成Pre-A轮融资，2023年7月完成A轮融资，资金主要用于产品量产和新产品研发。
本轮融资将主要用于晶圆边缘检测设备SICE200、晶圆电阻率量测设备SICV200、晶圆位错及微管检测设备SICD200以及多种半导体材料膜厚测量设备Eos200DSR等产品的量产，并支持新产品的研发和团队扩张。 优睿谱将继续致力于为半导体产业提供先进的量测设备。
