0
0
看不見的法師
发布时间：2025-04-04 09:38:01
|649人浏览过
|来源于php中文网
原创
华海清科股份有限公司近日公布一项名为“一种晶圆擦洗设备、晶圆擦洗系统和抛光设备”的新专利（申请公布号：cn119542201a，申请公布日：2025年2月28日）。
☞☞☞AI 智能聊天, 问答助手, AI 智能搜索, 免费无限量使用 DeepSeek R1 模型☜☜☜
该专利设计了一种创新的晶圆擦洗设备，其核心在于巧妙地结合了擦洗刷和一个包含伸缩模块与磁吸模块的调控单元。调控单元位于擦洗刷背对晶圆的一侧，通过伸缩模块的轴向伸缩来精确控制擦洗刷与晶圆之间的压力。 擦洗刷本身由第一转轴和刷头组成，第一转轴的一端连接刷头，另一端则通过磁吸模块与调控单元连接。这种磁吸连接方式赋予了系统柔性，确保在擦洗过程中始终保持刷头对晶圆表面施加恒定的压力。 这项技术创新有效解决了传统晶圆擦洗设备中压力控制不稳定的问题，提升了擦洗效率和晶圆清洁度。
相关文章
TurboDiffusion— 清华大学等推出的视频生成加速框架
信用卡终极指南：如何正确使用、避免陷阱及常见问题解答
ML-Master 2.0— SciMaster推出的自主机器学习智能体
科技论文海报设计终极指南：抓住眼球，赢得认可
历史新高！极氪汽车12月交付30267台 同比增长11.3%
本站声明：本文内容由网友自发贡献，版权归原作者所有，本站不承担相应法律责任。如您发现有涉嫌抄袭侵权的内容，请联系admin@php.cn
热门AI工具
Copyright 2014-2026 https://www.php.cn/ All Rights Reserved | php.cn | 湘ICP备2023035733号
