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国微集团“基于割集与顶点特征的门级电路划分方法”专利获授权

爱谁谁
发布： 2025-04-19 21:22:29
原创
351人浏览过

天眼查数据显示，国微集团（深圳）有限公司近期获得了一项专利，专利名称为“基于割集与顶点特征的门级电路划分方法”，专利号为cn112883671b，授权公告日期为2025年2月14日，申请日期为2021年2月24日。

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国微集团“基于割集与顶点特征的门级电路划分方法”专利获授权

本发明提出了一种新的进气装置及半导体设备设计。该进气装置包含匀流结构和气体分配结构。匀流结构由多个环形匀流腔和与之相连的多个进气管道组成；在环形匀流腔的径向外侧均匀分布着多个第一出气孔。气体分配结构则包括多个与环形匀流腔同轴的环形配气腔，这些配气腔外周面上的第二出气孔分布不均匀。此外，气体分配结构可以在第一位置和第二位置之间移动：当位于第一位置时，气体分配结构环绕匀流结构外周，各环形配气腔的进气端与第一出气孔密封连接，从而通过第二出气孔不均匀地排出气体；当移动到第二位置时，气体分配结构与匀流结构外周面错开，使得第一出气孔暴露在半导体工艺腔室内，实现均匀出气。

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天眼查 2025年 2025

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来源：php中文网
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