天眼查显示,普冉半导体(上海)股份有限公司“晶圆测试方法、装置、测试机和存储介质”专利公布,申请公布日为2025年3月14日,申请公布号为cn119619805a。
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本发明涉及晶圆测试技术领域,提供一种晶圆测试方法、装置、测试机和存储介质。测试机的探针卡中的每个探针均有所属的探针组,每个探针与相邻位置的探针属于不同的探针组。该方法包括:首先根据待测晶圆的晶圆型号,获得对应的目标信号采样时间点集;然后在每个测试周期,依次控制每个探针组对待测晶圆中裸片进行测试,得到每个探测组的测试结果;最后将全部探针组的测试结果作为一个测试周期的测试结果。通过对探针分组,扩大了测试时探针之间的距离,降低了不同探针之间的信号干扰。并且降低了不同测试机的性能差异对于晶圆测试的影响,提高了晶圆测试的稳定性和准确性。
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