根据天眼查的信息显示,上海芯密科技股份有限公司近期获得了一项名为“一种用于静电吸盘缝隙的密封胶及其制备方式与应用”的专利,其授权公告号为cn117777941b,授权公告日期为2025年3月14日,而申请日期则是在2023年11月22日。
这项发明属于半导体材料的技术范畴,主要聚焦于一种针对静电吸盘缝隙设计的密封胶及其制备工艺和实际运用。该密封胶的核心成分是有机硅,并且可以加入经过改性的纳米二氧化硅以及其它类型的填充物。此发明的操作流程简单易行,且具有广泛的适用性,无论是何种形状的缝隙,只要厚度不超过2毫米,都能有效使用。此外,这种密封胶具备卓越的抗腐蚀性能,这不仅减少了静电吸盘的维护开支,还提升了其整体的使用寿命。
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