《半导体级可熔性聚四氟乙烯（PFA）管》团体标准正式发布

近日，中国石油和化学工业联合会正式发布公告，批准发布14项团体标准。其中，由保视丽主导起草，联合20余家超纯氟材料高新技术企业共同参与制定的《半导体级可熔性聚四氟乙烯（pfa）管》（t/cpcif0464-2025）团体标准，已通过中国石油和化学工业联合会标准化工作委员会的审查并正式发布，将于2025年12月11日起实施。

此项标准的出台，将有效填补我国在半导体用超高纯材料领域相关标准的空白，对提升产品质量一致性、降低器件缺陷率、保障半导体产业链安全与高质量发展具有重要推动作用。

标准引领，助推国产半导体产业跃升

随着半导体技术向更高集成度、更精密制程方向快速发展，湿电子化学品输送系统中关键部件的纯度、稳定性和洁净性能成为影响芯片制造良率的核心因素之一。作为传输超纯水及高纯化学品的重要载体，PFA管道的质量直接关系到生产过程中的污染控制水平。

此次发布的《半导体级可熔性聚四氟乙烯（PFA）管》团体标准，在充分借鉴国际SEMIF57规范的基础上，结合国内半导体产业实际需求，首次系统规定了半导体级PFA管的尺寸规格、外观质量、总有机碳含量、表面粗糙度以及金属与非金属离子析出量等核心技术参数。

尤为突出的是，该标准在多项关键指标上严于国际标准。例如，总有机碳（TOC）析出限值要求不高于2000μg/m²，远优于SEMIF57规定的≤40000μg/m²；同时，对多种金属离子的溶出控制也提出了更高要求。这些更为严苛的技术门槛，彰显了我国在高端半导体基础材料领域的自主技术追求，有助于提升国产核心零部件的整体可靠性与市场竞争力。

保视丽领衔攻坚，彰显技术引领实力

作为本次标准的牵头单位，保视丽凭借其在氟聚合物材料领域的深厚技术积淀和产业化经验，为标准的制定提供了大量实验数据和技术支撑。

多年来，保视丽持续攻关超净PFA材料的塑化工艺、精密挤出技术、真空定径控制、牵引卷取系统及尺寸精度调控等关键技术环节，结合自主研发的高纯配方体系和耐高温、耐腐蚀的先进生产设备，深入研究管材流变特性、不稳定端基分解行为、尺寸公差、表面光滑度、抗腐蚀能力与离子析出之间的关联机制，成功开发出满足半导体级应用需求的超净PFA管道产品。

乾坤圈新媒体矩阵管家

新媒体账号、门店矩阵智能管理系统

17

查看详情

不仅限于产品研发，保视丽还积极参与从标准立项、草案编制到技术验证的全过程，组织多次专家研讨与测试比对，联合各参编单位反复优化技术条款，展现了其作为行业领军企业在推动技术规范化方面的责任担当。

图：保视丽参加第二次团体标准讨论会

行业权威认证，助力基础材料升级换代

中国石油和化学工业联合会是全国石油和化工领域具有广泛影响力和服务管理职能的综合性行业组织，承担着参与行业规划制定、重大项目建设前期论证、技术政策引导等重要职责。

此次由其审核发布的《半导体级可熔性聚四氟乙烯（PFA）管》标准，标志着我国在高端氟材料标准化建设方面迈出关键一步。标准实施后，将有力规范半导体级PFA管的生产、检测与应用流程，提升产品一致性和稳定性，减少因管道杂质析出导致的晶圆污染问题，从而支持我国半导体制造向更高技术水平迈进，加速实现产业链自主可控。

以上就是《半导体级可熔性聚四氟乙烯（PFA）管》团体标准正式发布的详细内容，更多请关注php中文网其它相关文章！