打破国外长期垄断，中科飞测首台晶圆平坦度测量设备出货 HBM 客户端-IT新闻-PHP中文网

打破国外长期垄断，中科飞测首台晶圆平坦度测量设备出货 HBM 客户端

碧海醫心

发布： 2025-11-22 17:31:15

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11 月 22 日消息，根据“中科飞测”官方公众号发布的信息，近日，中科飞测首台晶圆平坦度测量设备 —— ginkgoifm-p300 已正式出货至 hbm 客户端。

打破国外长期垄断，中科飞测首台晶圆平坦度测量设备出货 HBM 客户端

据官方介绍，该晶圆平整度测量设备可对有图形及无图形晶圆的几何特征与纳米级形貌进行高精度检测，是半导体先进制程中关键的工艺控制装备，专为满足图案化与非图案化晶圆在高精度几何参数量测方面的需求而设计。设备基于公司成熟的测量平台，结合创新性硬件架构与智能化算法，为集成电路制造商提供覆盖研发到大规模生产全流程的晶圆质量监控方案，广泛适用于≥96 层 3D NAND、≤1Xnm 逻辑芯片、DRAM 及 HBM 等前沿制程技术。

经过多年持续攻关，中科飞测团队成功突破大尺寸晶圆平整度测量的技术瓶颈，完成系列核心技术的研发与系统性布局，构建起具备自主知识产权和持续迭代能力的技术体系。公司自主研发了适用于 300mm 晶圆的大口径、高精度、低像差双斐索干涉仪，并配套低噪声照明系统，实现了稳定、清晰的干涉条纹图像采集。

该设备可全面检测多项关键指标，包括翘曲、弓形变形、纳米形貌、面内位移、局部曲率等，同时精准捕捉晶圆厚度变化及边缘滚降（ERO）特性。