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南科大李携曦课题组发表金刚石薄膜制备和应用领域研究成果

雪夜
发布： 2024-12-25 14:48:00
原创
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南方科技大学深港微电子学院、北京大学东莞光电研究院、香港大学等机构组成的联合研究团队在金刚石薄膜材料领域取得突破性进展，成功研发了一种批量生产大尺寸、超光滑、超柔性金刚石薄膜的创新方法。这项成果具有里程碑意义，将显著推动金刚石薄膜的商业化应用。研究论文已发表于《nature》期刊，题为“scalable production of ultraflat and ultraflexible diamond membrane”。 香港大学景纪祥博士为论文第一作者，南方科技大学李携曦助理教授、北京大学王琦研究员、香港大学林原教授及褚智勤副教授为共同通讯作者。

南科大李携曦课题组发表金刚石薄膜制备和应用领域研究成果

金刚石以其优异的物理和化学特性，成为电子和光子器件的理想材料。然而，超薄金刚石薄膜的大规模制备一直面临挑战。该研究团队巧妙地利用切边后胶带剥离技术，高效制备出大面积（2英寸晶圆）、超薄（亚微米级）、超平整（纳米级表面粗糙度）且超柔性（可360°弯曲）的金刚石薄膜。这种高品质薄膜不仅易于进行微纳加工，其超柔性特性更使其适用于弹性应变工程和变形传感等应用，这是传统厚金刚石薄膜无法实现的。研究团队通过实验和理论分析，证实了剥离角度和薄膜厚度对薄膜质量的关键影响，并确定了稳定制备大面积完整薄膜的最佳参数范围。这项技术突破为大规模生产高品质金刚石薄膜提供了可行方案，有望加速金刚石材料在电子学、光子学等领域的产业化进程。

南科大李携曦课题组发表金刚石薄膜制备和应用领域研究成果

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